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满足国内半导体行业70％需求，芯密科技国产全氟密封材料产能迈上新台阶

来源：上观新闻2023.6.29

6月28日，上海芯密科技有限公司三期项目在临港产业区翡翠园投产。该项目的投产，将产能在现有基础上再扩充约60%，产能将达到100万个各种尺寸的密封圈，满足国内半导体行业全氟密封件需求的70％左右。

芯密科技董事长谢昌杰介绍，普通的橡胶承受不了高温等环境，因此半导体的一些关键步骤、核心工艺都需要高端的全氟橡胶密封圈。但在几年前，几乎没有同类国产产品。芯密科技经过三年的研发和制造，在该领域站稳脚跟，诸多国内知名集成电路企业都在大量使用其产品。

“我们原来的一期二期项目几乎都处于满载状态，需求旺盛。”谢昌杰说，“为进一步扩充产能、提升高技术含量产品占比，芯密科技于去年底启动了三期项目建设，历时6个月顺利完成洁净车间装修及主体设备安装。三期项目能为我国半导体行业提供密封方面的有力保障。”

记者看到，投产仪式上，多家国内知名晶圆厂和设备制造商都派了代表出席。他们表示，全球氟材料供应近来较为紧张，芯密科技三期项目的投产有力增强了供应链稳定性。未来将与芯密科技进一步加深技术交流、扩大商务合作，共同努力促进国内半导体全氟密封技术的发展。

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